6H N Loại SiC wafer Dummy Lớp C 0001 Tăng trưởng tinh thể số lượng lớn <50 Arcsec FWHM

C (0001) 6H N Loại SiC wafer, Lớp giả, 10 mm x 10 mm

Ở đây hiển thị chi tiết kỹ thuật:

TÍNH CHẤT VẬT LIỆU CARBIDE

6H N Loại SiC wafer, Lớp giả, 10 mm x 10 mm

PAM-XIAMEN cung cấp các tấm silicon carbide bán dẫn, 6H SiC và 4H SiC ở các cấp chất lượng khác nhau cho các nhà sản xuất nghiên cứu và công nghiệp. Chúng tôi đã phát triển công nghệ tăng trưởng tinh thể SiC và công nghệ xử lý wafer tinh thể SiC, thiết lập dây chuyền sản xuất cho nhà sản xuất SiCsubstrate, được áp dụng trong GaNepitaxydevice, powerdevices, thiết bị nhiệt độ cao và Thiết bị quang điện tử. Là một công ty chuyên nghiệp được đầu tư bởi các nhà sản xuất hàng đầu từ các lĩnh vực nghiên cứu vật liệu công nghệ cao và tiên tiến và Phòng thí nghiệm bán dẫn của Trung Quốc, dệt may liên tục cải thiện chất lượng của chất nền hiện tại và phát triển chất nền kích thước lớn.

Tăng trưởng tinh thể SiC

Tăng trưởng tinh thể số lượng lớn là kỹ thuật chế tạo các chất nền tinh thể đơn, làm cơ sở để xử lý thiết bị hơn nữa. Để có một bước đột phá trong công nghệ SiC rõ ràng chúng ta cần sản xuất chất nền SiC với quy trình tái tạo.6H- và 4H- SiC được phát triển trong nồi nấu bằng than chì ở nhiệt độ cao lên tới 2100 bù2500 ° C. Nhiệt độ hoạt động trong nồi nấu được cung cấp bằng cách cảm ứng (RF) hoặc gia nhiệt điện trở. Sự tăng trưởng xảy ra trên hạt SiC mỏng. Nguồn đại diện cho điện tích bột SiC đa tinh thể. Hơi SiC trong buồng tăng trưởng chủ yếu bao gồm ba loài, đó là Si, Si2C và SiC2, được pha loãng bởi khí mang, ví dụ, Argon. Sự phát triển nguồn SiC bao gồm cả sự biến đổi thời gian của độ xốp và đường kính hạt và đồ họa hóa của hạt bột.

Hệ thống cơ điện tử SiC (MEMS) và cảm biến

Đối với các ứng dụng yêu cầu nhiệt độ cao, điện tử SiC rò rỉ thấp không thể có với các lớp SiC được lắng đọng trên silicon (bao gồm các bóng bán dẫn nhiệt độ cao, như đã thảo luận trong Phần 5.6.2), các khái niệm để tích hợp các thiết bị điện tử có khả năng cao hơn với MEMS trên các tấm SiC 4H / 6H với động kinh cũng đã được đề xuất. Ví dụ, các cảm biến áp suất đang được phát triển để sử dụng ở vùng nhiệt độ cao hơn của động cơ phản lực được triển khai trong 6H-SiC, chủ yếu là do thực tế là rò rỉ đường giao nhau thấp là cần thiết để đạt được hoạt động của cảm biến thích hợp. Các thiết bị điện tử bóng bán dẫn tích hợp trên chip 4H / 6H cho phép điều hòa tín hiệu tại vị trí cảm biến nhiệt độ cao cũng đang được phát triển. Với tất cả các cảm biến dựa trên cơ chế vi mô, điều quan trọng là phải đóng gói cảm biến theo cách giảm thiểu áp lực do nhiệt cơ gây ra (phát sinh do hệ số giãn nở nhiệt không phù hợp với các khoảng nhiệt độ lớn hơn nhiều do SiC kích hoạt). Do đó (như đã đề cập trước đây trong Phần 5.5.6), bao bì tiên tiến gần như rất quan trọng như việc sử dụng SiC để mở rộng một cách hữu ích phong bì hoạt động của MEMS trong môi trường khắc nghiệt.

Như đã thảo luận trong Phần 5.3.1, một ứng dụng chính của cảm biến môi trường khắc nghiệt SiC là cho phép giám sát và kiểm soát tích cực các hệ thống động cơ đốt để cải thiện hiệu quả nhiên liệu trong khi giảm ô nhiễm. Để đạt được mục đích này, khả năng nhiệt độ cao của SiC đã cho phép hiện thực hóa cấu trúc cảm biến khí SiC kim loại xúc tác và cách điện kim loại cách ly với lời hứa tuyệt vời cho các ứng dụng giám sát khí thải và phát hiện rò rỉ hệ thống nhiên liệu. Hoạt động ở nhiệt độ cao của các cấu trúc này, không thể thực hiện được với silicon, cho phép phát hiện nhanh chóng sự thay đổi hàm lượng hydro và hydrocarbon đối với độ nhạy của một phần triệu trong các cảm biến có kích thước rất nhỏ có thể dễ dàng đặt một cách không phô trương trên động cơ mà không cần làm mát. Tuy nhiên, cần cải thiện thêm về độ tin cậy, khả năng tái tạo và giá thành của cảm biến khí dựa trên SiC trước khi các hệ thống này sẵn sàng sử dụng rộng rãi trong ô tô và máy bay tiêu dùng. Nhìn chung, hầu hết các SiC MEMS cũng vậy, điều này sẽ không đạt được sự chèn vào hệ thống có lợi rộng rãi cho đến khi độ tin cậy cao trong môi trường khắc nghiệt được đảm bảo thông qua phát triển công nghệ hơn nữa.

Về chúng tôi

Trách nhiệm là sự đảm bảo chất lượng, và chất lượng là cuộc sống của tập đoàn. Chúng tôi mong muốn hợp tác lâu dài với khách hàng, chúng tôi sẽ cung cấp dịch vụ tốt nhất và dịch vụ hậu mãi cho tất cả các khách hàng của chúng tôi. Nếu bạn có bất kỳ yêu cầu, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi. Chúng tôi sẽ trả lời bạn lần đầu tiên khi có thể.

Sau nhiều năm phát triển, chúng tôi đã thiết lập mạng lưới bán hàng hoàn hảo và hệ thống dịch vụ sau bán hàng tích hợp trong và ngoài nước, cho phép công ty cung cấp dịch vụ kịp thời, chính xác và hiệu quả và giành được danh tiếng của khách hàng tốt. Các sản phẩm được bán khắp nơi ở Trung Quốc và xuất khẩu sang hơn 30 quốc gia và khu vực như Châu Âu, Châu Mỹ, Đông Nam Á, Nam Mỹ, Trung Đông và Châu Phi. Sản xuất, khối lượng bán hàng và quy mô đều được xếp hạng đầu tiên trong cùng một ngành.